Yarı iletken endüstrisinde silisyum karbür uygulaması
Silisyum karbür (SIC) aynı zamanda zımpara kumu olarak da adlandırılır. Kuvars kumu, petrol kok, odun yongaları, tuz ve diğer hammaddelerden yapılır. Aslında silisyum karbür uzun zaman önce keşfedilmiştir.
Aşağıdaki avantajlara sahiptir: yüksek ısı iletkenliği, küçük termal genleşme katsayısı, iyi aşınma direnci, yüksek sertlik (Mo’nun sertliği 9,4’tür, dünyanın en sert elmasından (seviye 10) sonra ikinci sıradadır), mükemmel ısı iletkenliği, güçlü yüksek sıcaklık antioksidan kapasitesi, vb.
Silisyum karbür yarı iletken sanayi zinciri temel olarak aşağıdaki halkaları içerir:
1. silisyum karbür yüksek saflıkta toz
2. tek kristal alt tabaka,
3.uzantı
4.güç cihazı
5modül paketleme
6.terminal uygulaması.